1樓:匿名使用者
兩種方法: 利用bai電子細分,比如對du20微米zhi
柵距的光柵尺dao進行200倍細分可得到內0.1微米解析度的光柵尺。但條件容是光柵訊號要足夠的好,也就是示波器上顯示的李賽圓要很圓。
另一種辦法是減小柵距,比如將柵距減小到10微米,再進行200倍細分得到的便是0.05微米的解析度。對於透射光柵,柵距減小則意味著衍射現象過重,訊號質量變差。
20微米柵距,正好是一個臨界點。所以,一般對小於20微米的柵距,利用的是光的干涉方法而不採用透射方法。目前國內廠商,暫且還沒有這項技術能夠利用光的干涉方法來做光柵尺。
光柵位移感測器的工作原理?
2樓:匿名使用者
光柵尺位移感測器(bai簡稱du光柵尺),是利用光柵的光學原zhi理工作dao的測量反饋裝置。光柵位移傳專感器的工屬
作原理,是由一對光柵副中的主光柵(即標尺光柵)和副光柵(即指示光柵)進行相對位移時,在光的干涉與衍射共同作用下產生黑白相間(或明暗相間)的規則條紋圖形,稱之為莫爾條紋。經過光電器件轉換使黑白(或明暗)相同的條紋轉換成正弦波變化的電訊號,再經過放大器放大,整形電路整形後,得到兩路相差為90°的正弦波或方波,送入光柵數顯表計數顯示。
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直線光柵作為位移感測器,高精度源的原因及特點
3樓:天安沙織天枰
光柵尺位bai移感測器(簡稱光柵尺)du
,是zhi利用光柵的光dao學原理工作的測量內反饋裝置。光容柵位移感測器的工作原理,是由一對光柵副中的主光柵(即標尺光柵)和副光柵(即指示光柵)進行相對位移時,在光的干涉與衍射共同作用下產生黑白相間(或明暗相間)的規則條紋圖形,稱之為莫爾條紋。經過光電器件轉換使黑白(或明暗)相同的條紋轉換成正弦波變化的電訊號,再經過放大器放大,整形電路整形後,得到兩路相差為90°的正弦波或方波,送入光柵數顯表計數顯示。
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光柵位移感測器設計位移測量系統
4樓:匿名使用者
這三bai個網頁你結合
du著zhi看
裡面有原dao理分析
版 計算公式權
光柵位移感測器有幾根線
5樓:匿名使用者
需要用到的光柵訊號是2個腳:相位相差90°的a、b 訊號,一般為ttl電平。
一般接線為5條線:
給光柵尺的電源兩條:vcc、gnd
光柵尺輸出三條:a、b、r
r為零位訊號。一般不用
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